Defekt-Detektion auf unstrukturierten Wafern in der Halbleiterfertigung. Tl.1

Herz, R.R.HerzKahlden, T. vonT. vonKahldenMack, A.A.MackSchmutz, W.W.Schmutz2022-03-022022-03-021987https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/175657de670621Defekt-Detektion auf unstrukturierten Wafern in der Halbleiterfertigung. Tl.1journal article