Döring, H.-J.H.-J.DöringElster, T.T.ElsterHeinitz, J.J.HeinitzFortagne, O.O.FortagneBrandstätter, C.C.BrandstätterHaugeneder, E.E.HaugenederEder-Kapl, S.S.Eder-KaplLammer, G.G.LammerLöschner, H.H.LöschnerReimer, K.K.ReimerEichholz, J.J.EichholzSaniter, J.J.Saniter2022-03-102022-03-102005https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/34968210.1117/12.600458en621Proof-of-concept tool development for projection mask-less lithography (PML2)conference paper