Weck, ManfredManfredWeckHümmler, JoachimJoachimHümmler2022-03-032022-03-031996https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/187941Die Beobachtung von Mikroproduktionsvorgängen kann durch die Integration kompletter Funktionssysteme in ein Meß- und Beobachtungsgerät erreicht werden. Eine Möglichkeit bietet z.B. das Großkammer-Rasterelektronenmikroskop, das durch eine 2 m3 große Vakuumkammer und der verfahrbaren Elektronenstrahloptik viele Möglichkeiten eröffnet, mit einer sehr hohen Schärfentiefe und einer sehr hohen Auflösung Mikromontagevorgänge und Zerspanungsvorgänge zu beobachten.deMikrotechnikREM670658journal article