2022-03-092022-03-091998https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/331559deFertigungFertigungsprozeßinnovationMaschinenbauMikrobauelementMikroFabMikrofabrikationstechnikMikrofertigungMikrosystemQualitätssicherung670Produktionstechnik für Mikrosysteme 1998conference proceeding