Brecher, ChristianChristianBrecherWenzel, ChristianChristianWenzelMatrose, ArneArneMatroseNiehaus, FrankFrankNiehaus2022-03-042022-03-042011https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/227589Die Herstellung von Strukturen im Mikrometerbereich, beispielsweise lichtauskoppelnde Mikrostrukturen für eine definierte Intensitätsverteilung moderner Beleuchtungssysteme, erfordert eine spezielle Prozessführung und hohe thermische Prozessstabilität der Diamantzerspanung.de658670621journal article