Klumpp, B.B.KlumppGeissinger, J.J.GeissingerKahlden, T. vonT. vonKahlden2022-03-022022-03-021988https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/175253de670572Staubarm ist nicht rein. Partikelquellen bei Fertigungsläufen im Reinraumjournal article