Weißbach, M.M.WeißbachAuerswald, E.E.AuerswaldHildebrandt, MarcusMarcusHildebrandtRzepka, SvenSvenRzepka2022-03-142022-03-142018https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/403536enMultiscale residual stress analysis in thin film layersconference paper