Kämpfe, ThomasThomasKämpfe2022-03-082022-03-082021https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/312517Die vorliegende Erfindung betrifft ein piezoelektrisches Element und ein Verfahren zum Herstellen des piezoelektrischen Elements. Das piezoelektrische Element ist mit einem Substrat (101), bei dem zwischen einer ersten Substratschicht (101a) und einer zweiten Substratschicht (101b) eine Zwischenschicht (100) angeordnet ist, einer auf der zweiten Substratschicht (3) angeordnete ersten Elektrodenschicht (102, 110) aus einem elektrisch leitfähigen, nicht-ferroelektrischen Werkstoff, einer auf der ersten Elektrodenschicht (102, 110) angeordneten ferroelektrischen, piezoelektrischen und bzw. oder flexoelektrischen Schicht (103, 111) und einer auf der ferroelektrischen, piezoelektrischen und bzw. oder flexoelektrischen Schicht (103, 111) angeordneten zweiten Elektrodenschicht (104, 112) aus einem elektrisch leitfähigen, nicht-ferroelektrischen Werkstoff versehen. Die Zwischenschicht (100) und/oder die erste Substratschicht (2) ist unterhalb eines Schichtstapels entfernt, der durch die erste Elektrodenschicht (102, 110), die ferroelektrische, piezoelektrische und bzw. oder flexoelektrische Schicht (103, 111) und die zweiten Elektrodenschicht (104, 112) gebildet ist, so dass der Schichtstapel entlang seiner entlang der Schichtenfolge gerichteten Normalen translatorisch bewegbar ist.de621patent102019220132