Dudaicevs, H.H.DudaicevsGottfried-Gottfried, R.R.Gottfried-Gottfried2022-03-032022-03-031993https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/183662Intelligente, monolithisch integrierte Sensorsysteme auf Siliziumbasis zeichnen sich neben der erweiterten Leistungsfähigkeit und dem Miniaturisierungsgrad vor allem durch niedrige Fertigungskosten bei großen Stückzahlen aus. Um diesen Vorteil voll in die Kosten der komplettierten Bauelemente einfließen zu lassen, müssen neben den Kosten für die Gehäusung vor allem die Kosten für den Systemtest minimiert werden. Dafür ist die Entwicklung von Verfahren zum Test der Sensorfunktionen auf Waferebene neben dem Einsatz der Tests für die elektronischen Baugruppen notwendig.deDruckmessungMeßaufnehmerMikroelektronikmonolithisches sensorsystemoptisches sensorsystempressure measurementPrüfverfahrensensorsiliciumsilicontesttest method621journal article