Steinhauser, BerndBerndSteinhauserHermle, MartinMartinHermle2023-12-112023-12-112023-05-04https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/457869Die Erfindung betrifft eine Elektrodenanordnung zum Beschichten von flächigen Werkstücken mit einer elektrisch leitfähigen Schicht, mit zumindest zwei parallel angeordneten Flächenelektroden (1a,1b) und zumindest einem Abstandhalter, wobei die zwei Flächenelektroden (1a,1b) durch den Abstandhalter beabstandet sind und der Abstandhalter zumindest einen elektrisch isolierenden Isolatorbereich aufweist, um eine elektrisch leitende Verbindung der Flächenelektroden durch den Abstandhalter zu vermeiden, wobei der Abstandhalter mit einer Seite an einer der zwei Flächenelektroden (1a,1b) und mit einer gegenüberliegenden Seite an der anderen der zwei Flächenelektroden (1a,1b) angeordnet ist. Wesentlich ist, dass der Abstandhalter mindestens eine Abschirmung (3) aufweist, wobei die Abschirmung (3) derart angeordnet ist, dass zumindest ein Teilbereich des Isolatorbereichs mittels der Abschirmung (3) abgeschirmt ist, wobei die Abschirmung (3) zu zumindest einer der beiden Flächenelektroden (1a,1b) beabstandet ist. Die Erfindung betrifft weiterhin ein Verfahren zum Beschichten von flächigen Werkstücken mit einer elektrisch leitfähigen Schicht und eine Verwendung einer Elektrodenanordnung.depatentDE102021128369 A1DE202110128369