Pätzold, O.O.PätzoldFischer, B.B.FischerWunderwald, U.U.WunderwaldBuhrig, E.E.Buhrig2022-03-092022-03-092001https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/337958enmicrogravityvapour phase dopingcrystal growthnumerical simulation670620530Vapour phase doping under microgravityGasphasendotierung unter Mikrogravitationconference paper