Lehninger, DavidDavidLehningerLederer, MaximilianMaximilianLedererSünbül, AyseAyseSünbülSeidel, KonradKonradSeidel2024-07-242024-07-242024-05-02https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/472056Das Bauelement umfasst eine auf einem Substrat (1a) ausgebildete ferroelektrische oder antiferroelektrische Schicht (2), wobei die ferroelektrische oder antiferroelektrische Schicht (2) mit einem ersten Dotierstoff (3) und mindestens einem zweiten Dotierstoff (4) dotiert ist. Hierbei kann die ferroelektrische oder antiferroelektrische Schicht (2) aus HfO2oder ZrO2ausgebildet sein und mit dem ersten Dotierstoff (3) Hf oder Zr und mit dem zweiten Dotierstoff (4) Al, Si, La, Y, Gd oder Sr dotiert sein.depatentDE102022211354 A1DE202210211354