Huttenhuis op Bevers, StephanStephanHuttenhuis op Bevers2022-03-072022-03-072006https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/277106de658670Entwicklung eines Prozessmodelles zur Analyse und Prognose der Schnittspaltentwicklung beim Draht-Trennläppen von Siliziumdoctoral thesis