Seyfert, U.U.SeyfertFahland, M.M.FahlandBräuer, G.G.Bräuer2022-03-052022-03-052017https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/25709810.1002/vipr.201700653Die Funktionalisierung großer Flächen unterschiedlicher Substrate durch das Aufbringen dünnster Schichten im Vakuum ist eine seit vielen Jahren industriell etablierte Technologie. Verschiedenste Abscheideverfahren kommen hier zum Einsatz. Mittels Plasmaverfahren oder Verdampfung beschichtete Bauteile sind in vielen Bereichen des Lebens zu finden. Durch den hohen Flächendurchsatz derartiger Anlagen und deren hohen Entwicklungsstand sind die vakuumbedingt höheren Anschaffungskosten dieser Anlagen gegenüber atmosphärischen Abscheideverfahren oftmals nicht das bestimmende wirtschaftliche Moment und bieten in vielen Fällen auch die ökologisch nachhaltigere Lösung. Neue Applikationen können auf einem sehr umfangreichen technologischen und industriellen Erfahrungsschatz aufbauen und innerhalb kurzer Zeit in die Produktion überführt werden.The modification of large‐area surfaces by means of thin‐film vacuum coating is a well‐established industrial technology for a broad range of applications. Plasma and evaporation coated products can be found in many areas of life. Vacuum coating equipment offer high throughputs and a high level of process performance. Therefore, the higher costs of this equipment compared to atmospheric coating technologies, which arise due to the vacuum, are in many cases not a decisive factor for an investment. Furthermore, vacuum coating technologies are often the more sustainable solution in ecological terms. New applications benefit from a vast body of industrial experience and can be quickly transferred into industrial processes.de533621journal article