Gommel, U.U.GommelRapp, A.A.Rapp2022-03-032022-03-032002https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/202427Reinheitskritische Prozesse erfordern Produktionsanlagen und Fertigungseinrichtungen, welche nur eine geringe Eigenverschmutzung aufweisen. Um das Eigenkontaminationsverhalten von Produktionseinrichtungen beurteilen zu können, wird ein standardisiertes Bewertungsverfahren benötigt. International liegt erstmalig durch die im September 2002 verabschiedete Richtlinie VDI 2083 Blatt 8 eine Vorgehensweise zur Beurteilung des Reinraumtauglichkeitsverhaltens vor. Dies ermöglicht die gezielte Optimierung einzelner Komponenten sowie komplexer Produktionsanlagen hinsichtlich der Eignung für kontaminationskritische Prozesse.deReinraumtauglichkeitSauberkeitWork Place DesigncleanroomReinraumVDI RichtlinieAnlagenplanungFertigungsprozeßArbeitsplatzgestaltung670621journal article