Under CopyrightBürger, FrankFrankBürger2022-03-1226.3.20152014https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/38695010.24406/publica-fhg-386950Reinheitstauglische Verbrauchsmaterialien werden in erheblicher Menge und Vielfalt in reinen Produktionsbereichen verwendet. Entsprechend der verschiedenen Produktanforderungen sind verschiedene Reinheitskriterien relevant, daraus ergibt sich die Notwendigkeit zur Beurteilung der Reinheits- und Reinraumtauglichkeit. Wesentliche Kriterien sind das Partikelemissionsverhalten, die Ausgasung, die Reinigbarkeit, die Chemikalienbeständigkeit, die Verstoffwechselbarkeit, etc. Im Vortrag wurden beispielhaft Prüfstände und Klassifizierungsverfahren für ausgewählte Verbrauchsmaterialien erläutert. Die VDI 2083 Blatt 9.2 umreißt diese Thematik und befindet sich aktuell in der Bearbeitung.deReinraumtauglichkeitVDI 2083 Blatt 9.2ReinheitstauglichkeitPartikelemissionAusgasungVerstoffwechselbarkeitReinraumChemikalienbeständigkeitconference paper