Behrmann, OleOleBehrmannLisec, ThomasThomasLisecBodduluri, Mani TejaMani TejaBodduluriGojdka, BjörnBjörnGojdka2025-06-122025-06-122024-12-19https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/488561Ausführungsbeispiele gemäß der vorliegenden Erfindung umfassen ein Verfahren zur Herstellung eines mikrostrukturierten Transmissionsgitters für Röntgenstrahlung, wobei das Verfahren die folgenden Schritte aufweist: Bereitstellen eines Substrats und Erzeugen einer Gitterstruktur mittels Strukturieren einer Vielzahl periodisch angeordneter Kavitäten in einer ersten Hauptseite des Substrats, wobei zwischen den Kavitäten jeweils einzelne Stege aus Substratmaterial bestehen bleiben, und Verfüllen der Kavitäten mit einer Vielzahl von Partikeln in Form von losem, trockenem Pulver. Dabei weist das Substrat eine geringere Absorption für Röntgenstrahlung auf als die Partikel.depatentDE102023205555 A1DE202310205555