2022-03-092022-03-091998https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/331563deAutomatisierungFertigungFertigungsplanungFlexibel automatisierte MontageFlexibilitätsabstimmungFlexible Montagetechnikflexibles Fertigungssystemflexibles MontagesystemGeschäftsprozeßProduktionskonzeptwafer fabrication670Smart Fabrication Flexible Fab 1998Neue Produktionskonzepte für die Halbleiterfertigung 1998conference proceeding