Janes, J.J.JanesLutz, N.N.Lutz2022-03-082022-03-081989https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/302247Beschrieben wird ein Strahlfuehrungssystem zur Auskopplung von VUV-Strahlung aus dem Bereich einer Ultraviolett-Strahlungsquelle in welchem Ultrahochvakuum aufrechterhalten wird, in eine Reaktionskammer, in der ein um Groessenordnungen hoeherer Druck herrscht. Erfindungsgemaess zeichnet sich das Strahlfuehrungssystem dadurch aus, dass seine Elemente starr miteinander verbunden sind und ueberwiegend im Inneren von Vakuumkammern verlaufen, und dass diese starr verbundenen Elemente ohne Ortsveraenderung der Vakuumkammern justierbar sind. Dadurch kann das Strahlfuehrungssystem einfach dem Verlauf der VUV-Strahlung angepasst werden. Das Strahlfuehrungssystem ermoeglicht den Einsatz der VUV-Strahlung fuer die Strukturierung von Halbleiteroberflaechen, wodurch die Grenze der kleinstmoeglichen Strukturen in den Sub-my-Bereich verschoben werden kann.de608621patent1988-3808629