Holfeld, C.C.HolfeldBubke, K.K.BubkeLehmann, F.F.LehmannLa Fontaine, B.B.La FontainePawloski, A.R.A.R.PawloskiSchwarzl, S.S.SchwarzlKamm, F.M.F.M.KammGraf, T.T.GrafErdmann, A.A.Erdmann2022-03-102022-03-102006https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/35233410.1117/12.656386en670620530Defect printability study using EUV lithographyconference paper