Kraft, T.T.KraftRoosen, A.A.Roosen2022-03-082022-03-082014https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/300279Im Zuge des Projektes wurden die Gründe der Anisotropieentstehung während der gesamtenProzesskette (Foliengießen, Trocknen, Binderausbrand, Sintern, Schwindung) experimentell und numerisch untersucht. Großflächige, dünne Keramikfolien werden bevorzugt durch Folienguss keramischer Schlicker und anschließende Trocknung hergestellt und werden in großem Umfang zu mehrlagigen Strukturen wie Kondensatoren, Aktuatoren, Sensoren und hochintegrierten Schaltungen verarbeitet. In Mehrlagenschaltungen auf Basis der LTCC-Technologie (Low Temperature Cofired Ceramics) werden die Leiterbahnen, Widerstände, Dielektrika etc. als Pasten über ein Siebdruckverfahren auf die ungesinterten Grünfolien aufgedruckt. Nach dem Stapeln und Laminieren werden sie gemeinsam gesintert (Cofiring). Dabei wird ein unerwünschtes, anisotropes Schwindungsverhalten beobachtet, da sich durch die vorausgehen-den Prozessschritte Schlickerbestandteile ausgerichtet haben. Durch Kombination von mikroskopischen und makroskopischen Untersuchungen sollen in diesem Vorhaben die Vorgänge beim Foliengießen und Trocknen untersucht werden, die dem beobachteten anisotropen Sinterverhalten von Keramikfolien zugrunde liegen. Durch den gezielten, parallelen Einsatz von experimentellen Charakterisierungstechniken und numerischer Simulation soll der Herstellungsprozess nicht nur besser verstanden werden, sondern auch quantitative Aussagen über den Zusammenhang zwischen Prozess- und Pulverparametern und der Entstehung einer anisotropen Mikrostruktur gemacht werden. Der Einsatz Partikel-basierter Simulationsverfahren erlaubt dabei vertiefende Einblicke in die Anisotropieentwicklung auf mikroskopischer Ebene, während die experimentelle Charakterisierung insbesondere auf das makroskopisches Anisotropieverhalten zielt.deAnisotropieTrocknungsschwindungTrocknungsspannungKornformPartikelorientierungScherfeld620report