Westkämper, E.E.Westkämper2022-03-092022-03-092000https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/335375Die Mikroelektronik und Nanotechnik ermöglichen eine Funktionsintegration und Miniaturisierung von Dimensionen und Präzision. An diesen Anforderungen orientiert sich die Entwicklung künftiger intelligenter Maschinen und Anlagen. Aufgrund dessen muß das Bezugsmaß im Hinblick auf Meßtechnik und Präzision in den atomaren Bereich verlegt werden.deNanomeßtechnikNanotechnikmetrologytoleranceminiaturisationnanotechnologyFunktionsintegrationfunction integrationToleranzMessenMiniaturisierungGenauigkeit670conference paper