Gemmler, A.A.GemmlerKeller, W.W.KellerRichter, H.H.RichterRueß, K.K.Rueß2022-03-032022-03-031993https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/183216Die rasante Entwicklung der Mikroelektronik stellt an die Fertigungsprozesse immer höhere Anforderungen, so auch an die galvanischen Schritte bei der Herstellung von Goldmikrokontakten, den Goldbumps. Die für eine zuverlässige Anschlußkontaktierung notwendige Präzision wird durch die Erarbeitung und Anwendung eines synergistischen Prozeßmodells erreicht.deAnschlußkontaktFertigungsprozeßGalvanotechnikGenauigkeitGoldbumpGoldmikrokontaktGoldüberzugMikroelektronikProzeßmodellSynergie670669journal article