Deerberg, GörgeGrünewald, MarcusSchlehuber, DennisDennisSchlehuber2022-03-072022-03-072018https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/282186deHierarchische Mikrosiebe für fluidische Anwendungen - Filtertechnische Charakterisierung und mikrotechnische Herstellungdoctoral thesis