Yeh, L.-Y.L.-Y.Yeh2022-03-062022-03-062001https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/274484deWerkzeugbauMikrosystemtechnikWerkzeugstahlLaserbearbeitungStoffeigenschaft621Einfluà von Bearbeitungsparametern auf die Oberflächen- und Werkstoffeigenschaften von laserbearbeiteten Mikrobauteilendoctoral thesis