Kozma, PeterPeterKozmaBier, FrankFrankBierEhrentreich-Förster, EvaEvaEhrentreich-Förster2022-03-082022-03-082015https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/310654Die Erfindung betrifft eine Messeinrichtung zur Messung einer Messgrösse mittels einer Beugungsmessung, mit einer Strahlungsquelle (1), die Strahlung emittiert, einem Gegenstand (7-9), der im Strahlengang der Strahlungsquelle (1) angeordnet ist, und einem Strahlungsdetektor (5), der im Strahlengang der Strahlungsquelle (1) hinter dem Gegenstand (7-9) angeordnet ist und ein Beugungsbild des Gegenstands (7-9) misst, insbesondere ein Fresnel-Beugungsbild.; Es wird vorgeschlagen, dass die zu messende Messgrösse eine Eigenschaft einer Umgebung des Gegenstands (7-9) ist, wobei die Messgrösse eine umgebungsabhängige Eigenschaftsgrösse des Gegenstands (7-9) beeinflusst, so dass die umgebungsabhängige Eigenschaftsgrösse des Gegenstands (7-9) die Messgrösse wiedergibt, während die umgebungsabhängige Eigenschaftsgrösse des Gegenstands (7-9) das Beugungsbild beeinflusst, so dass das gemessene Beugungsbild des Gegenstands (7-9) die umgebungsabhängige Eigenschaftsgrösse und damit auch die Messgrösse wiedergibt.de610patent102014000311