Hiller, K.K.HillerHahn, R.R.HahnKaufmann, C.C.KaufmannKurth, S.S.KurthKehr, K.K.KehrGessner, T.T.GessnerDötzel, W.W.DötzelWiemer, M.M.WiemerSchubert, I.I.Schubert2022-03-092022-03-091999https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/333726en621Low-temperature approaches for fabrication of high-frequency microscannersconference paper