Grimme, R.R.Grimme2022-03-092022-03-091996https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/326232deFertigungFertigungskonzeptMikroFabMikrofabrikationstechnikMikrosystemMikrosystemtechnik670Fertigungskonzepte für die industrielle Produktion von Mikrosystemen (MikroFAB)conference paper