Büttgenbach, S.Westkämper, E.2022-03-092022-03-092003https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/343347enmicroassemblymicrofabricationMikroelektronikMikrofertigungMikrosystemtechnikNanotechnikFertigungMicrofluidicsmicrosystem670MICRO.tec 2003: Applications - trends - visions. Proceedingsconference proceeding