Wünsche, T.T.Wünsche2022-03-062022-03-062003https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/274997de667670620Untersuchung des Puls-Magnetron-Sputterprozesses zur Abscheidung von Aluminiumoxid und des Einflusses einer gepulsten Biasspannung am Substratdoctoral thesis