Rose, KlausKlausRoseGlöss, DanielDanielGlössNizard, HarryHarryNizard2024-09-222024-09-222024-08-14https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/475422Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung anorganisch-organischer Hybridpolymer-Beschichtungen, bei welchem verschiedene (monomere) Ausgangskomponenten für mindestens ein anorganisch-organisches Hybridpolymer verdampft oder vernebelt werden, die verdampften oder vernebelten (monomeren) Ausgangkomponenten separat voneinander in eine Beschichtungskammer eingebracht werden, und ein Plasma-unterstützter oder pyrolytisch unterstützter chemischer Gasphasenabscheidung-Prozess in der Beschichtungskammer durchgeführt wird, bei welchem mindestens eine anorganisch-organische Hybridpolymerbeschichtung erhalten wird, indem die (verschiedenen) in die Beschichtungskammer eingebrachten (monomeren) Ausgangskomponenten zu mindestens einer vernetzbaren Vorstufe des mindestens einen anorganisch-organischen Hybridpolymers umgesetzt werden, die mindestens eine vernetzbare Vorstufe zum mindestens einen anorganisch-organischen Hybridpolymer vernetzt wird, und die (verschiedenen) in die Beschichtungskammer eingebrachten (monomeren) Ausgangskomponenten, die mindestens eine vernetzbare Vorstufe des mindestens einen anorganisch-organischen Hybridpolymers und/oder das mindestens einen anorganisch-organischen Hybridpolymer auf mindestens einer Oberfläche eines Substrats abgeschieden werden. Im Weiteren betrifft die vorliegende Erfindung auch ein beschichtetes Substrat, welches ein Substrat mit mindestens einer anorganisch-organischen Hybridpolymer-Beschichtung umfasst und mit dem erfindungsgemäßen Verfahren herstellbar oder hergestellt ist.depatentDE102023103573 A1DE202310103573