Faul, R.R.FaulFolkmer, B.B.FolkmerHemmetzberger, J.D.J.D.Hemmetzberger2022-03-082022-03-081997https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/303629de608621Halbleiter- oder hybridtechnologiebasierte Messanordnung mit spezieller Impedanzanordnungpatent1996-19615381