Ryssel, H.Jacob, M.M.Jacob1997https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/272964dediffusionFällungGitterbaufehlerPlatinSauerstoffsilicium670620530Untersuchung des Einflusses von Gitterleerstellen auf die Sauerstoffpräzipitation in Silicium mit Hilfe der Platindiffusiondoctoral thesis