Angerer, G.G.Angerer2022-03-032022-03-031992https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/182140de303600380Trotz der Fortschritte in der Meßtechnik bleibt beträchtliches Innovationspotential. Mikroelektronik - Schlüsseltechnologie zum Schutz der Umweltjournal article