Thyen, R.R.ThyenKlaeke, N.N.KlaekeHoepfner, K.K.HoepfnerKlages, C.C.Klages2022-03-082022-03-082004https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/306419de608667Verfahren zum Abscheiden einer Polymerschicht und Verwendung derselbenpatent2000-10017846