Under Copyright2022-03-0710.02.20062004https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/29204810.24406/publica-fhg-292048de621Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme. Jahresbericht 2003Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme. Annual Report 2003annual report