Schäfer, W.W.Schäfer2022-03-082022-03-081992https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/320245In Fertigungen im Reinraumbereich gewinnt die Überwachung der Prozeßparameter und Umgebungsbedingungen, wie z.B. die Partikelkontamination durch ständig wachsende Anforderungen mehr und mehr an Bedeutung. Den Anforderungen werden Monitoring-Systeme mit automatisierter Meßdatenerfassung und -verarbeitung gerecht. Dieser Beitrag zeigt am Beispiel der Partikelkontamination in hochreinen Medien, wie ein für den Anwender integrierbares, automatisiertes Monitoring-System konzipiert und realisiert wurde.deFertigungMeßdatenerfassungmonitoring systemReinraum670conference paper