Dischler, B.B.DischlerBrandt, G.G.Brandt2022-03-022022-03-021984https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/170792deamorpher KohlenstoffBeschichtungInfrarotMikrohaerte621667Eigenschaften und Anwendungen harter amorpher Kohlenstoffschichtenjournal article