Westkämper, E.E.Westkämper2022-03-092022-03-092000https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/335778Die Mikro- und Nanotechnologie erlauben es heute, mit der Fertigung in neue Dimensionen (Größe und Formen) vorzudringen. zudem sind die Bauteile durch eine steigende Präzision und einer zunehmenden Integration von Funktionen gekennzeichnet. Die Verschiebung der Dimensionen fordert möglicherwese das "Atom" als neue Maßeinheit für die Meßtechnik.ennanotechnologyMikrotechnologieFunktionsintegrationElektronikMessenMiniaturisierungToleranzReinraumKontaminationOberfläche670conference paper