Schmidt, M.M.SchmidtDudaicevs, H.H.DudaicevsMachul, O.O.MachulManoli, Y.Y.ManoliMokwa, W.W.MokwaSpiegel, E.E.Spiegel2022-03-092022-03-091995https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/324618In diesem Beitrag wird ein kapazitiver Drucksensor mit Ausleseelektronik vorgestellt. Die monolithische Integration des Drucksensors in Oberflächen-Mikroemechanik mit einer Ausleseelektronik basiert auf einen Standard-CMOS-Prozeß. Die druckabhängige Kapazität des Sensors wird in eine analoge Ausgangsspannung gewandelt. Ausgelegt ist das System für einen Temperaturbereich von -20øC bis +120øC.decapacitive transducerCMOS integrated circuitsCMOS-SchaltungDrucksensorintegrated circuitskapazitiver AufnehmermicromechanicsMikromechanikmonolithisch integrierte Schaltungpressure sensors621conference paper