Hammerschmidt, D.D.HammerschmidtSchnatz, F.V.F.V.SchnatzBrockherde, W.W.BrockherdeHosticka, B.J.B.J.HostickaSchlichting, V.V.SchlichtingObermeier, E.E.Obermeier2022-03-092022-03-091994https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/322820Es wird ein monolithisch integriertes CMOS-Drucksensorsystem vorgestellt. Die mit dem piezoresistiven Sensor integrierten Schaltungen ermöglichen neben der lastfreien Auslese der Brücke die Kalibration und Temperaturkompensation des Sensors ohne externe Bauelemente. Die Kalibrationsinformationen sind digital auf dem Chip gespeichert.deDruckmessungDrucksensormagnetoresistanceMeßauswertungmicroelectronicsmicrosystemMikroelektronikMikrosystemtechnikpiezo-resistorpiezoresistiver Aufnehmerpressure sensorTemperaturabhängigkeittemperature compensationtemperature measurementtemperature rangeTemperaturkompensation621Ein monolithisch integriertes CMOS-Drucksensorsystem mit Temperaturkompensation und On-Chip gespeicherten Kalibrationsdatenconference paper