Pochner, K.K.PochnerNeff, W.W.Neff2022-03-032022-03-031995https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/186867Für viele Unternehmen ist die Einführung der Plasmareinigung deshalb nicht attraktiv weil sie mit relativ hohen Investitions- und Betriebskosten für die erforderliche Vakuumtechnik verbunden ist. In manchen Füllen kann jedoch auf das Vakuum verzichtet und ein Plasma bei Atmosphärendruck eingesetzt werden.deAtmosphärendruckDünnschichttechnikGasdruckGasmoleküleplasmaSpaltgeometrie621669journal article