Bürger, FrankFrankBürgerSchweizer, MarionMarionSchweizer2022-03-042022-03-042009https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/220201Der aktuelle Trend zur Herstellung von Mikro- und Nanoprodukten in den verschiedensten Industriebranchen führt zu hohen Anforderungen an die reine Produktionstechnik. Die Herstellung von Mikro- und Nanoprodukten ist in hohem Maße von der reinen Fertigungsumgebung abhängig. Dabei ist die reine und hygienische Fertigungsumgebung nicht nur notwendig, um hohe Wirkungsgrade zu erzielen, sie ermöglicht es erst, spezifische Fertigungsprozesse durchzuführen und zu beherrschen. Im Bestreben nach geringen kontaminationsbedingten Ausschüssen müssen räumliche und technische Anforderungen aber auch rechtliche/normative Rahmenbedingungen während des Herstellprozesses erfüllt sein. Die gestellten Anforderungen sind dabei branchenspezifisch.deHygienehygienisches Designequipment designSauberfertigungVerstoffwechselbarkeitProduktentwicklungReinraumReinheitWerkstoffElektrostatikTeilchen620book article