Dürr, PeterPeterDürrNeudert, AndreasAndreasNeudertFelsberg, LindaLindaFelsberg2022-03-082022-03-082021https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/312213Ein MEMS-Aktuator-Element (10) umfasst ein Substrat (12), eine erste Elektrodenstruktur (14) mit einer Kantenstruktur (14-1), die bezüglich des Substrats (12) feststehend angeordnet ist, eine zweite Elektrodenstruktur (16) mit einer Kantenstruktur (16-1), wobei die zweite Elektrodenstruktur (16) mittels einer Federstruktur (18) auslenkbar mit dem Substrat (12) gekoppelt ist und mittels der ersten Elektrodenstruktur (14) elektrostatisch auslenkbar ist, um die Kantenstruktur (16-1) der zweiten Elektrodenstruktur (16) in eine Zwischenposition (z1) zwischen einer minimalen Auslenkungsposition (ZMIN) und einer vertikal beabstandeten maximalen Auslenkungsposition (ZMAX) zu bewegen, wobei die minimale und maximale Auslenkungsposition (ZMIN, ZMAX) einen maximalen Auslenkungswegs (zs) vorgeben, wobei die Kantenstrukturen (14-1, 16-1) der ersten und zweiten Elektrodenstruktur (14, 16) hinsichtlich einer Draufsicht gegenüberstehend ausgebildet und in der minimalen Auslenkposition (ZMIN) vertikal voneinander beabstandet sind, und wobei in der maximalen Auslenkposition (ZMAX) der vertikale Eintauchweg (ZE) der Kantenstruktur (16-1) der zweiten Elektrodenstruktur (16) in die Kantenstruktur (14-1) der ersten Elektrodenstruktur (14) bis zu dem 0,5-fachen des maximalen Auslenkungswegs zS, mit zE< 0,5 zs, beträgt.de621patent102019210020