Mann, D.D.MannMorlok, O.O.Morlok2022-03-092022-03-091997https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/327922Mittels der PACVD-Technik wurden Probenkörper aus den Werkstoffen 1.8550 und 1.2379 in einem Arbeitsablauf ohne Prozeßunterbrechung bei Temperaturen unter 550øC zunächst nitriert und anschließend mit TiN, TiC-, und TiCN-Schichten versehen. Die Schichten wurden auf Härte und Verschleißbeständigkeit untersucht. Die Abscheidung von TiN-, TiCN- und TiC auf Schneckenlementen wurde probeweise durchgeführt. Die Verbesserung der Gleichmäßigkeit der Beschichtungen an den komplex geformten Schneckenbauteilen war wesentlicher Bestandteil der Arbeiten. Für die Herstellung von Aluminiumdampf wurde ein Verdampfer entwickelt. Umfangreiche Maßnahmen zur Arbeits- und Umweltsicherheit beim PACVD-Prozeß wurden durchgeführt.deAbscheidungBeschichten von KunststoffHärteprüfungKunststoffverarbeitungPACVDPrüfungSchutzschichtTriebelementVerschleißprüfung670conference paper