Schubert, A.A.SchubertBurkhardt, T.T.BurkhardtSchneider, J.J.Schneider2022-03-092022-03-092001https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/337444de620670Mechanische Mikrofertigung - Potentiale trennender und umformender Mikrofertigungsverfahrenconference paper