Wittwer, VolkerNiggemann, MichaelRuf, DanielDanielRuf2005https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/276628Diploma Thesis at the Albert-Ludwig-University of Freiburg, Chair for Process Technology, Department of Microsystems Engineering. In cooperation with Fraunhofer Institute for Solar Energy Systems -ISE-, Freiburg.Diplomarbeit an der Albert-Ludwig-Universität Freiburg, Lehrstuhl für Prozeßtechnologie, Institut für Mikrosystemtechnik -IMTEK-. In Zusammenarbeit mit dem Fraunhofer-Institut für Solare Energiesysteme -ISE-, Freiburg.en621697diploma thesis