Bertz, A.A.BertzSymanzik, H.H.SymanzikSteiniger, C.C.SteinigerHöffer, A.A.HöfferGriesbach, K.K.GriesbachStegemann, K.K.StegemannEbest, G.G.EbestGessner, T.T.Gessner2022-03-032022-03-032001https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/20034110.1016/S0924-4247(01)00650-1en621537A single-crystal Si-resonator with on-chip readout amplifier in standard CMOSjournal article