Werner, D.D.Werner2022-03-092022-03-091999https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/332607Technische Anleitung für Verfahren zur Beurteilung der Verunreinigung technischer Oberflächen mit Partikeln und filmischen Stoffen.deAbsaugverfahrencontamination controlKontaminationskontrolleReine ProduktionTapelift-Verfahrenvacuum cleaningmicroscopyMikroskopie670Einfache Meßverfahren auf Oberflächen (Versuch 3)Simple inspection methods for surfacesconference paper