Löschner, H.H.LöschnerStengl, G.G.StenglBuschbeck, H.H.BuschbeckChalupka, A.A.ChalupkaLammer, G.G.LammerPlatzgummer, E.E.PlatzgummerVonach, H.H.VonachJager, P.W.H. deP.W.H. deJagerKäsmaier, R.R.KäsmaierEhrmann, A.A.EhrmannHirscher, S.S.HirscherWolter, A.A.WolterDietzel, A.A.DietzelBerger, R.R.BergerGrimm, H.H.GrimmTerris, B.D.B.D.TerrisBrünger, W.H.W.H.BrüngerGross, G.G.GrossFortagne, O.O.FortagneAdam, D.D.AdamBöhm, M.M.BöhmEichhorn, H.H.EichhornSpringer, R.R.SpringerButschke, J.J.ButschkeLetzkus, F.F.LetzkusRuchhöft, P.P.RuchhöftWolfe, J.C.J.C.Wolfe2022-03-032022-03-032003https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/20339110.1117/1.1528946en621Large-field particle beam optics for projection and proximity printing and for maskless lithographyjournal article